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Accurion 成像橢圓偏振儀

1）成像橢圓偏振儀和傳統(tǒng)橢圓偏振儀有什么區(qū)別橢圓偏振是一項(xiàng)測量薄膜厚度，折射率等參數(shù)的技術(shù)，與傳統(tǒng)橢圓偏振儀相比，成像橢圓偏振有以下特點(diǎn)：成像可以讓你看到樣品通過CCD相機(jī)你可以直接看到樣品圖片，這樣的圖片也可以展示橢偏對比度，讓你分析樣品的均勻性，對于非常薄的膜，只有橢圓偏振對比圖可以成像，常規(guī)光學(xué)顯微鏡無法做到這一點(diǎn)。定位的測量你可以看到你的樣品，所以你可以定位你想要測量的感興趣點(diǎn)區(qū)域。即使樣品需要成像，你也可以確保你在均一的地方測量。傳統(tǒng)橢圓偏振儀給出的是一個平均數(shù)字。...

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